扫描电子显微镜仪器维护方法

扫描电子显微镜（SEM）的维护需重点关注电子光学系统、真空系统、探测器及样品室等关键部件的保养。以下是具体维护方法

电子光学系统维护

1：灯丝更换‌：钨灯丝寿命约100-200小时，场发射枪灯丝寿命约1000-2000小时，需定期检查电流稳定性并按时更换。 ‌

2：电磁透镜维护‌：确保电源稳定并避免外部磁场干扰，定期检查电流稳定性和磁场强度。 ‌‌

真空系统维护

1.泵油检查‌：机械泵油每6个月更换，分子泵润滑脂每年更换，日常需监测油位和泵效。 ‌

2.真空度校准‌：长期未用需启动真空泵逐步提升真空度至10⁻⁴~10⁻⁶ Pa，并监测真空曲线变化。 ‌

探测器维护

1：清洁与校准‌：二次电子探测器和背散射探测器需用氮气或软毛刷除尘，每月通过标准样品校准灵敏度。 ‌

样品室维护

1：日常清洁‌：每次实验后用无尘纸或酒精擦拭样品台、探头及腔体内壁，禁用有机溶剂。 ‌

2：深度清洁‌：每月用超声波清洗可拆卸部件，氮气吹干后重新安装并测试运动精度。 ‌

环境控制

1：温湿度‌：实验室温度保持18~25℃，湿度≤60%，避免设备受潮或过热。 ‌

2：防尘防震‌：设备需置于防震台上，远离门窗和热源，配备HEPA滤网。 ‌

长期未用呵护

每周通电初始化控制系统并观察指示灯状态

启动真空泵运行8小时并监测真空曲线

重新安装灯丝并进行老化校准 ‌