1.1 日常管理

     大型精密仪器设备是从事教学和科研活动的重要工具，其中场发射扫描电镜属于大型精密仪器中的精密贵重仪器，其阴极制造工艺复杂，价格昂贵，需要在高真空度下才能稳定工作。如果真空度降低，会导致阴极氧化加快，因此设备需要常年保持开启状态，以保证镜筒内的真空度维持在10-7Pa量级以上。此外，场发射扫描电镜均需配备不间断电源(UPS)，UPS可以保证设备在市电中断时仍能继续运行，避免设备在突然断电时关闭，造成损伤等问题。

      在场发射扫描电镜的日常维护中，操作人员应定期检查仪器设备的工作环境、光学系统、真空系统及附件设施，确保仪器处在最佳工作状态。设备每两个月需要进行一次重新启动，使电脑及电镜器件重新开启一次，避免设备出现卡顿、不顺畅等状况，保证设备正常运行。

     在日常使用过程中，电镜的电子光路系统会逐渐发生偏移。改变测试电压后，电子束方向会出现较大的偏移；电子束偏离镜筒中心时，在较大束斑下无法成像。因此，在使用一段时间后，需要按照操作说明书对仪器进行定期校准，其中包括光路对中、偏移校正、试样台移动校准等校准方法，通过校准使设备维持良好的运行状态。如果自行校准无法完成光路对中，则需要进行机械对中，此项工作技术难度较高，通常需要工程师上门才能完成。

      需特别指出的是，由于学校寒暑假时间较长，扫描电镜管理员应及时关注学校停电消息。如假期期间遇到停电情况，需根据停电时间长短对电镜进行不同方式处理。若停电时长在24h以内，可以采取破真空后，依次在操控电脑界面上左键点击“STOP"，最后点击“standby"，使设备处于待机状态即可，采取该措施后，电镜配备的UPS可以维持设备运行。如果停电时间超过24h，则需要将设备关闭，待来电后重新开机。

1.2 附件维护保养

1.2.1 配套冷却循环系统

     循环冷却循环系统主要用于电镜内部器件的降温，其工作原理是通过低温水在体系内循环将设备部件产生的热量带走，从而保证设备在较低的温度下稳定运行，冷却水的恒温循环对设备的稳定性、可靠性起着重要作用。循环水应使用纯水，以减少水中杂质的产生，同时需要定期关注水位及水质情况，如果水位下降，要及时进行补加，如果水质出现结垢或者浑浊，需要及时清洗更换循环水，建议每年更换一次循环水。设备前面板下部的散热片及风扇需要定期进行灰尘清理，以避免孔道堵塞，影响设备运行。

1.2.2 空气压缩机

      空气压缩机可以控制电镜的气动阀门，并为减震系统提供压缩空气，随着空气压缩机的使用时间不断延长，其内部的机油会出现损耗，一旦机油液面过低，需要及时进行补加。在工作过程中，空气压缩机吸入了含有部分水分的空气，水分进入到机组内部，伴随机组一系列运作最终会析出为冷凝水，如果冷凝水不及时排出，会导致机组内部发生锈蚀，加速润滑油乳化并造成润滑油特性降低，影响机组运转，所以每周需要通过排水阀排出冷凝水。

1.2.3 机械泵

     机械泵需要长时间连续工作，以保证试样仓维持高真空状态。内部的塑料密封垫圈属于损耗件，在长期使用过程中会出现磨损、老化，因此需要定期进行更换。原则上每年需要联系工程师对密封圈进行更换，如果不及时更换会加重机械泵的磨损，导致无法抽真空，机械泵维修成本会大大增加。

1.2.4 空调外挂机

     为保证扫描电镜和能谱仪的稳定性，扫描电镜及附属部件房间室温均应控制为20℃，空调需要不间断开启，灰尘、飞絮极易在空调外机散热片上堆积。因此，为保证设备正常运行，要求对外机散热片定期进行清理，尤其在春季柳絮漫天的时候，空调外机散热片极易堆积一层厚厚的柳絮，若不及时清理，覆盖的柳絮层不仅会影响外机散热效果，更严重的会导致空调损坏。