一、安全总则（必须遵守）

• 高压部件断电后残余电荷需放电 3–5 分钟再开盖；全程戴绝缘手套 + 防静电手环。

• X 光管长期停用（>1 个月）必须做Aging（老化训练），否则易高压击穿。

• 严禁超参数运行：最大50kV/1mA，铍窗禁硬物触碰、禁液体直接接触。

• 

二、环境与电源（基础中的基础）

1. 温湿度

• 温度：18–28℃，波动≤±2℃；避免阳光直射与出风口直吹。

• 湿度：40%–70% RH（无凝露）；高湿季节开空调 / 除湿，内部放干燥剂島津製作所。

2. 供电与接地

• 电压：220V±5%（198–230V），配1kVA 稳压电源，独立回路。

• 接地：专用地线，接地电阻 **≤4Ω**，定期检查无锈蚀、松动。

三、高压发生器保养

1. 日常（每日）

• 开关机顺序：

  开机：稳压器→仪器主电源→电脑→软件→真空就绪后再开高压。

  关机：先关 X 光管高压→软件→冷却 10–20 分钟→主电源→稳压器。

• 外观：无水无尘，用无尘布 + 无水乙醇轻拭外壳与高压接头，防积尘打火。

• 运行：无滋滋放电声、异味、焦痕；异常立即停机。

2. 每周

• 高压电缆：检查绝缘层无裂纹、鼓包、老化；接头无松动、无氧化发黑。

• 散热风扇：清理滤网灰尘，风道畅通，转速正常无异响。

3. 每月

• 高压参数：空载 / 负载下测kV/mA，波动≤±2%；偏差 >±5% 需校准。

• 绝缘检查：断电放电后，测高压端对地绝缘 **≥10MΩ（500V 摇表）**。

• 高压插座：清洁后涂 ** 硅脂（半年 1 次）** 或凡士林，防固化放电。

4. 季度 / 年度

• 内部除尘：断电放电后，用软毛刷 + 吸尘器清板卡、变压器、电容积尘。

• 电容 / 继电器：检查鼓包、漏液、触点烧蚀；年度由岛津工程师检测耐压与漏电流。

四、X 射线管（X 光管）保养

1. 日常（每日）

• 真空度：开机确认 **≤10⁻³ Pa**；下降则查舱门胶条，用无水乙醇擦拭密封面。

• 铍窗保护：样品用样品杯，禁粉末 / 液体直接接触；污渍用无水乙醇轻拭，单向擦拭。

• 冷却系统（风冷）：风扇滤网清洁，进出风无遮挡，阳极温度 **≤60℃**。

2. 每周

• 真空系统：检查真空泵油位 / 油质，无乳化、发黑；排气无油雾。

• 光管状态：观察窗无蓝色辉光（放电）；靶面无熔化、溅射凹坑。

3. 每月

• Aging（必做）：长期停机后，在软件执行X 光管老化训练：

  逐步升高压（如 5kV→10kV→…→50kV）、降电流，缓慢激活绝缘，防止击穿。

• 强度稳定：用 ** 标准样品（如 Cu/Zn）** 测强度，RSD≤1%；漂移大则查光管 / 高压。

4. 季度 / 年度

• 靶面检查：5–10 倍放大镜观察，凹坑 > 1mm 记录，严重需换管。

• 密封性能：年度由工程师做氦质谱检漏，漏率≤10⁻⁹ Pa・m³/s。

五、常见故障与预防

• 高压打火：积尘、受潮、绝缘老化 → 定期清洁、控湿、涂硅脂。

• 光管老化快：频繁启停、超压超流、真空差 → 平稳开关机、不超载、保真空。

• 强度漂移：温度波动、真空泄漏、靶面溅射 → 控温、检漏、定期 Aging。

六、保养周期表（速查）

七、关键提醒

• Aging 是光管长寿核心：停机 > 1 个月必须做，否则易突发击穿。

• 冷却优先：关机必须冷却 10–20 分钟，防热冲击损靶。

• 高压慢升：开机高压逐步提升，避免瞬间大电流冲击。