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产品名称:结构分析场发射扫描电镜/ ULTRA系列扫描电镜

产品型号:

更新时间:2017-06-28

产品特点:结构分析场发射扫描电镜/ ULTRA系列扫描电镜仪器简介:
在SUPRA™场发射扫描电子显微镜基础上发展起来的ULTRA 场发射扫描电子显微镜是用于纳米结构分析的电子束成像仪器中的*,它接收效率高、可以超高分辨率成像。开发的能量选择式背散射电子探测器(EsB)和角度选择式背散射电子探测器(AsB)则代表了著名的GEMINI®技术的发展。

产品详细资料:

结构分析场发射扫描电镜/ ULTRA系列扫描电镜ULTRA综合采用了用于形貌成像的GEMINI® In-len二次电子探测器、用于清晰的组分衬度的EsB探测器和用于采集晶体通道信息的AsB探测器。同步的实时成像与信号混合功能提供了*的成像能力。 
EsB探测器包含有一个过滤栅网,通过它可实现高分辨率背散射电子成像,让以前无法看见的细节历历在目。
卡尔.蔡司*的荷电补偿功能在使用所有探测器时,都可以分析非导电样品 

 低加速电压时的超高分辨率二次电子和背散射电子成像 
 用于在纳米尺度上实现组分衬度成像的高效EsB / AsB探测器 
 精确控制的超大自动优中心(eucentric)样品台 
 背散射电子和二次电子信号的实时成像与混合功能 
 抑制不导电样品的荷电效应 
 用于X射线分析和背散射电子衍射(EBSD)应用的超稳定束流模式

结构分析场发射扫描电镜/ ULTRA系列扫描电镜技术参数:

ULTRA基本规格

分辨率

1.0 nm @ 15 kV

1.7 nm @ 1 kV

4.0 nm @ 0.1 kV

加速电压

0.1 - 30 kV

探测电流

4 pA - 20 nA

放大倍数

12 - 900,000x

电子枪

热场发射

标准探测器

镜筒内置式In-Lens二次电子探测器和EsB探测器,样品室内AsB探测器和ET探测器

图象处理

7种积分和平均模式

系统控制

基于Windows® XP的SmartSEM™

 

ULTRA 55SE

成像与测量工作站

主要特点:

ULTRA——*的成像工具

看得更多——超高分辨率的SE与BSE同步成像 
看得更清——精确的*成像能力 
看得更细——纳米尺度上进行组分分析的利器 
简便易用——全面集成的镜筒内置式背散射电子探测器(EsB)和二次电子探测器(In-lens     detector) 
远离荷电——Ultra plus中安装有荷电补偿器,实现了不导电样品的清晰、精确成像 

 

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