仪器型号：牛津EDX 二手 X-Max 80平方 能谱仪

生产厂家:英国牛津仪器公司

工作原理主要技术指标：

能谱仪与场发射电镜联用，高能电子入射到样品表面，激发出X射线，能谱仪探头紧靠样品，高效收集X射线，进行快速元素定性、定量分析。

探测器：SDD硅漂移电制冷探测器

能量分辨率：MnKa优于127eV

元素分析范围：Be4—Cf98

主要用途：

与场发射电镜SEM联用，进行材料微区成分分析，单颗粒自动识别及成分形貌分析。

牛津EDX 二手 X-Max 80平方 能谱仪Max系列能谱仪，有效晶体面积为 40mm2,65mm2,100mm2以及170mm2，是新一代硅漂移型探测器（SDD)，配有大面积晶体和低噪音电子元器件，分析速度和探测灵敏性都有大幅提升。

速度 - 低噪音电子元器件和X4脉冲处理器的结合，使Ultim Max能够在1,500,000 cps的计数率下对样品进行面分析，并在400,000 cps计数率下进行精确定量。

灵敏度 - 晶体尺寸有着很大影响。使用Ultim Max的大面积晶体（100 mm2和170 mm2），可大幅提高分析条件下的计数率。

• X-MaxN 为低能端元素的分析做了巨大的优化——无论何种尺寸，表现出优异的低能端分析性能

• 所有尺寸的能谱仪均可保证检测到Be，可获得SiLI峰的面分布

• 超大面积的能谱仪——均具有优异的低能端分析性能

• 优异的空间分辨率
  高空间分辨率，X射线扩展区域更小

• 大面积能谱仪可以在低加速电压及低束流下采集X-射线

• 纳米尺度的特征可以更好的被检测到

• 超大面积的能谱仪——使高级的纳米分析成为可能

• 150 mm2 的能谱仪比小晶体面积的优势在哪里？
  举例为证。加速电压20kV，束流不到2nA时，150 mm2 的能谱仪每秒即可输出200,000的计数。而使用10 mm2 的能谱仪时，需要近20nA下才可达到相同的计数率。

• 下图显示不同束流下的典型计数率，20kV下分析纯Mn时，探测器检出角30°且距样品45mm。使用大面积能谱仪，无需增加束流即可极大地增大计数率。也就是说在低束流下，保证高空间分辨率及低辐照损伤的同时可以获得足够多的计数。左图显示束流增加对改善图像质量的影响。

• 点击图像可查看大图

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• 束流对纳米材料分析的影响

• 当使用晶体面积小的能谱仪，需要高束流来满足足够的计数率，但会损害空间分辨率。超大面积能谱仪X-MaxN 150可以在低束流即高空间分辨率下获得足够多计数，因此可以成功实现纳米材料的检测与分析。

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• 右图：纳米结构在5kV下的X-射线面分布。计数率相同时，150mm2的能谱仪所需束流更低，意味着空间分辨率足够高可以分辨出纳米尺度的变化，且极大地减弱了样品的辐照损伤。相反，10mm2的能谱仪则需要更高的束流，却会严重损害空间分辨率，使得面分布图像模糊不清。

  
  

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• 右图：在0.2 nA, 3 kV下使用150 mm2 X-MaxN 的能谱仪对记忆合金中的纳米结构进行分析。可以观察到FeLa，NiLa及CuLa峰显示出的纳米结构分布差异，zei小可以区分出20nm宽度的结构。