一、点火前必做：安全与基础条件检查（优先排除致命问题）

1. 气体供应：核心中的核心（90% 点火失败与气体相关）

• 气体纯度：必须使用 ≥99.999%（5N）的高纯氩气，杂质（O₂、H₂O、N₂）会导致点火困难或等离子体熄灭；若近期更换气瓶，需确认气瓶标签正确（避免误换氮气 / 空气），且新气瓶需先排空阀口杂质（开阀 3~5 秒后关闭再连接）。

• 压力与流量：

• 1：等离子气（Plasma Gas）：常规流量 15~18 L/min（不同仪器略有差异），气瓶出口压力需稳定在 0.5~0.8 MPa（减压阀压力），若压力低于 0.3 MPa 或流量波动＞0.5 L/min，需更换气瓶或检查减压阀是否故障。

• 2：辅助气（Auxiliary Gas）：流量 0.8~1.2 L/min，流量为 0 或过低会导致等离子体无法维持，过高则会吹散电弧。

• 3：载气（Carrier Gas）：流量 0.8~1.2 L/min（点火时可适当调高至 1.0~1.5 L/min 辅助点火），载气中断会导致等离子体无法点燃。

• 气路泄漏：用肥皂水涂抹气路接头（气瓶出口、减压阀、仪器进气口、管路连接处），若冒泡则说明泄漏，需拧紧接头或更换密封圈（PTFE 材质常见老化）。

2. 电源与硬件安全

• 确认仪器主电源、射频（RF）电源、冷却系统电源均已接通，无跳闸或断电情况。

• 检查冷却系统：循环水（或风冷）需正常工作 —— 水冷机水位在刻度线之间、水温稳定在 20~25℃，若水温过高（＞30℃）或水流报警，需排查水冷机泵、管路堵塞（水垢 / 杂质）；风冷仪器需确认风扇转动正常，散热口无遮挡。

• 排查安全联锁：仪器门（炬室门、采样锥 / 截取锥门）需关闭（联锁开关触发），若门未关严或联锁开关故障（如接触不良），仪器会禁止点火（安全保护机制）。