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产品名称:二手蔡司场发射电镜SEM+EDX SUPRA25

产品型号:

更新时间:2024-09-05

产品特点:二手蔡司场发射电镜SEM+EDX SUPRA25系列产品配备有经过改进的第三代GEMINI®镜筒、概念新颖的样品台、智能化硬件控制板和新型高效率的透镜内二次电子探测器。SUPRA™系列场发射扫描电子显微镜是卡尔蔡司半导体事业部的纳米技术系统部向市场推出的功能最多的场发射扫描电子显微镜。具有当前仪器所具有的所有特征:如在图像质量超高分辨率、工作电压切换方便、出色的束流稳定性、全分析型样品室。

产品详细资料:

二手蔡司场发射电镜SEM+EDX SUPRA25  SUPRA™系列的多种仪器提供了全面的成像解决方案,可满足半导体、材料分析、药品制造和生命科学等领域中苛刻的应用要求。对于不导电样品,采用可变压力(VP)技术的增强型可变压力二次电子探测器(VPSE)可以得到的图像和分析结果。GEMINI®镜筒具有成像能力,尤其是在工作电压低于1kV时成像能力尤为出色,这就使得SUPRA™成为适合所有纳米科学应用的成像工具。

主要特点:
 在整个电压范围内的超高分辨率,

 电压范围至0.1 kV,所需调整极少,
 高束流,高稳定性,
 高效In-lens二次电子检测器,可实现高分辨率的表面成像,
 增强型VPSE探测器,可实现不导电试样的成像
 基于Windows® XP的SmartSEM™控制软件,操作简便

     这是由于在扫描电镜中,当电子束源源不断的轰击到样品上时,入射电子的电流等于二次电子电流、背散射电子电流、样品接地电流和荷电电流的总和。对于导电性能好的样品,入射电子束产生的荷电电荷通过接地导走,不存在表面荷电现象。而对于导电性能不佳的样品,其接地电流几乎为零。当样品表面产生的二次电子和背散射电子的总和小于入射电子数时,样品表面呈负电位,在负电场的作用下使电子获得加速,更多的电子被探测器接收到,二次电子图像发亮;当样品表面产生的二次电子和背散射电子的总和多于入射电子数时,样品表面呈正电位,正电场将电子吸引回样品内,使探测器中接收到的电子数量减少,二次电子图像呈现局部发黑的现象。如图1a所示,用场发射扫描电子显微镜(FESEM)拍摄不导电的碳纤维形貌,采用10kV的加速电压,样品出现了非常严重的荷电现象,图像同时表现出局部发亮和发黑的情况。 

二手蔡司场发射电镜SEM+EDX SUPRA25

 二手蔡司场发射电镜SEM+EDX SUPRA25   应用范围

      目前最常见的减轻荷电现象的方法是通过离子溅射或蒸镀的方法,在样品表面沉积或镀上一层比较均匀、细腻的金属层,从而增加样品的导电性。但该方法仍然不能有效解决样品出现荷电现象的问题,还可能掩盖样品的真实结构。场发射扫描电镜具有良好的发射电流稳定度和优异的低压图像质量。一般加速电压范围在1kV~30kV分档或连续可调。加速电压的高低决定了入射电子束能量的高低,从而影响了入射电子的扩展范围。使用低加速电压,由于其电子束能量低、作用范围小,激发出的二次电子能量少,不仅可以减少对样品的损伤,还能有效的减少样品表面荷电现象,更适合观测不导电样品。

以上述的碳纤维为例,将加速电压降至5kV,荷电现象明显减轻(图1b),进一步将加速电压降至2kV,基本消除了荷电现象(图1c)。同时,使用低加速电压时,入射电子与样品的作用深度较浅,激发出的二次电子主要来源于样品入射区极表层,更有利于观察样品的浅表面结构,对样品的损伤也较小。

二手蔡司场发射电镜SEM+EDX SUPRA25


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