二手FIB+双束FIB+场发射电镜应用范围+领域+分析要领

1. FEI Helios400/450：FEI Helios NanoLab 400S是一款能够进行高级成像和样品制备的双束系统，它结合了场发射扫描电子显微镜和聚焦离子束

   系统适用于固体材料的多种先进成像和制备技术，包括无需破真空的TEM样品制备（正常和背面铣削）、STEM成像在薄TEM样品上、针制备用于断层扫描、平面视图制备以及在加热芯片上制备用于TEM退火实验的薄片。
   

   
   

   2. FEI FEI Strata400：FEI Strata 400是一款DualBeam™系统，用于高分辨率、高对比度成像和样品制备。它集成了场发射扫描电子显微镜柱和聚焦离子束柱，具备完整的原位样品制备能力，能够制备TEM样品而不破真空。适用于有机、无机和新型材料，这些材料不适合传统的SEM和TEM样品制备方法。
   
   3. Quanta600F：FEI Quanta 600 FEG是一款场发射环境扫描电子显微镜，具备高真空模式、低真空模式和环境真空模式下的分辨率，以及高加速电压和最大束流等特性。它主要用于固体样品表面形貌分析以及半定量元素分析。
   
   4. FEI FIB200：FEI FIB 200-M使用Magnum离子柱，该离子柱的铣削能力是早期预透镜FIB柱的两倍。这款FIB用于电路编辑（正面和背面）、缺陷和失效分析、TEM薄片制备、纳米制造、纳米原型制作和MEMS。

   
   

2. 

二手FIB+双束FIB+场发射电镜 FIB双束扫描电镜参数：

发射源：高稳定型肖特基场发射电子枪

分辨率：
☆工作距离下1.4nm（1keV）

电子束参数：
☆探针电流范围：1pA – 400nA
☆加速电压范围：200V ~ 30kV
☆着陆电压范围：20eV ~ 30keV
☆导航蒙太奇功能，可额外增大视场宽度

离子光学：
大束流Sidewinder离子镜筒
加速电压范围：500v-30kv
离子束流范围：1.5pA-65nA
15孔光阑
不导电样品漂移抑制模式
离子源寿命至少1000h
离子束分辨率30kv下3.0nm

样品室：
☆电子束和离子束重合点在分析工作距离处（SEM7mm）
☆端口：21个
☆内宽：379mm

样品台：灵活五轴电动样品台
☆XY范围：110mm
☆Z范围：65mm
☆旋转：360° 连续
☆倾斜：-15°到+90°
☆大样品尺寸，直径110mm，可沿X、Y轴*旋转时
☆大样品高度，与优中心点间隔为85mm
☆大样品质量 5 kg（包括样品托）
☆同心旋转和倾斜

样品托：
☆标准多功能样品托，以*方式直接安装到样品台上，可容纳18个标准样品托架（φ12mm）、3个预倾斜样品托、2个垂直和2个预倾斜侧排托架（38°和90°），样品安装无需工具

探测器系统：可同步检测多达4中信号
☆样品室二次电子探测器ETD
☆镜筒内背散射电子探测器T1
☆镜筒内二次电子探测器T2
☆镜筒内二次电子探测器T3（可升级）
☆ IR-CCD红外相机（观察样品台高度）
☆ 可用于图像导航的彩色光学相机Nav-Cam+™
☆ 高性能离子转换和电子探测器ICE
☆ 可伸缩式低电压、高衬度、分割式固态背散射探测器DBS
☆ 电子束流测量