（2手）扫描电镜SEM+EDX操作窗口

直观的操作界面的设计，简明易懂便于迅速掌握操作。

日本JEOL扫描电子显微镜JSM-6510（SEM)支持多用户

单个用户可以根据常用功能设置相应的图标，营造快捷的操作环境。用户登录时，即可加载已注册过的设定。

日本JEOL扫描电子显微镜JSM-6510（SEM)同时显示两幅图像

画面上并列显示二次电子成像和背散射电子成像这两种实时图像。可同时观察样品的形貌和组成分布。

日本JEOL扫描电子显微镜JSM-6510（SEM)维护简便

工厂预置中心灯丝，十分便于更换。因此，可长期保持稳定的高性能。此外，操作界面还能以映像形式显示灯丝维护的步骤说明。

日本JEOL扫描电子显微镜JSM-6510（SEM)可信赖的真空系统

真空系统使用高性能的扩散泵保证了洁净的高真空状态。扩散泵内部无活动部件，体现了操作稳定，维护简便的特色。

（2手）扫描电镜SEM+EDX:技术参数

分辨率 3.0nm（30kV）
8.0nm（3kV）
15nm（1kV）
放大倍数 5至300,000x
加速电压 0.5kV至30kV
电子枪 工厂预对中灯丝
聚光镜 变焦聚光镜
物镜 锥形物镜
样品台 全对中样品台
X-Y 80mm-40mm
Z 5mm至48mm
旋转 360°
倾斜 －10°至＋90°
排气系统
（高真空模式） DPx1，RPx1
排气系统
（低真空模式） DPx1，RPx2

扫描电子显微镜主要特点

　　1.强大的电子光学系统，简单操作

　　I　设计的超级圆锥型物镜，保证3nm的分辨率。很容易得到高质量照片。

　　II　广域扫描线圈可以得到低5倍的放大倍数从而提高观察样品的效率。

　　III　电子光学系统可以在大束流下形成小束斑，有利于微区分析。

　　2.高分辨率

　　I　JSM6510系列超级圆锥形物镜，在工作距离8mm时的分辨率为3nm，超级圆锥形物镜

　　2的外形设计可以做到短工作距离情况下样品仍然可以大角度倾斜。

　　3.全自动电子枪

　　2　I　JEOL开发的全自动电子枪能够产生极小电子束源，只要选择好加速电压，就可以进行观察或成分分析。

　　II　电子枪偏压是调节电子枪亮度的重要部件。JEOL的无缝自给加压系统能随着电压变化随时调整偏压，使得无论选择哪个加速电压，都能得到亮度。

　　III　JEOL*的像散记忆功能能够自动纠正随加速电压或工作距离改变而产生的像散。

　　1KV　5KV

　　10KV　20KV

　　4.多图显示模式

　　3　I　主显示区可以同时显示两幅实时图像，分别为二次电子像和背散射电子像，参考区也可显示2幅实时图像，例如二次电子图像，背散射电子图像或CCD相机图像。

　　II　双实时显示模式可以用于不同信号图像的对比，用户可在观察表面形貌的同时了解样品的成份分布情况。

　　III　选用多种图像显示模式时，点击“PHOTO"按纽可同时获得并存储2或3幅全屏尺度图像。

　　5.简单易懂的操作接口及菜单

　　I　操作接口简单，直观，默认的操作接口显示了常用的功能按钮，并以简单图文标明，点击鼠标即可操作所有功能。

　　II　实时量测，图片上的长度和角度等结构细节能在显示器上进行测量。

　　6.可变焦聚光镜修正

　　I　做表面观察和元素分析等不同应用时，选择合适束流非常重要，一般是通过聚光镜与物镜光阑来控制电子束流的。如果在调整束流过程中，焦点和观察区域位移变化很小，调整起来会比较方便。JEOL*的可变焦聚光镜可以保证这一点。