产品名称:二手JEOL 场发射电镜 SEM+EDX+EBSD
产品型号:
更新时间:2026-04-01
产品特点:二手JEOL 场发射电镜 SEM+EDX+EBSD的主要特点有:应用了浸没式肖特基电子枪技术的电学系统;利用GB(Gentle Beam 模式)和各种检测器在低加速电压下能高分辨观察和选择信号的TTLS系统(Through-The-Lens System);电叠加的混合式物镜。
产品详细资料:
二手JEOL 场发射电镜 SEM+EDX+EBSD技术参数
JSM-7200F JSM-7200FLV
| 分辨率 | 1.0 nm(20kV),1.6 nm(1kV) | 1.0 nm(20kV),1.6 nm(1kV),1.8nm (30kV, LV ) |
| 放大倍率 | ×10~×1,000,000(120mm x 90mm photograph size); ×30~×3,000,000(1280 x 960pixels display); | |
| 加速电压 | 0.01kV~30kV | |
| 束流 | 1pA~300nA | |
| 自动光阑角控制透镜ACL | 内置 | |
| 大景深模式 | 内置 | |
| 检测器 | 高位检测器(UED)、低位检测器(LED) | |
| 样品台 | 5轴马达驱动样品台 | |
| 样品移动范围 | X:70mm Y:50mm Z:2mm~41mm 倾斜-5~+70° 旋转360° | |
| 低真空范围 | - | 10pa~300pa |

一、核心技术与优势
浸没式肖特基热场发射电子枪
源自旗舰机型 JSM-7800F Prime 的技术,提供高亮度、高稳定的电子源。
探针电流可达 300 nA,兼顾高分辨成像与能谱(EDS)元素分析的需求。
混合式物镜(电磁场叠加型)
结合磁透镜与静电透镜,球差更小,显著提升分辨率。
保留传统 out-lens 设计的大工作距离与易用性,可直接观察磁性材料。
TTLS 镜内信号系统 + GB 柔和束模式
TTLS (Through-The-Lens System):通过镜内探测器高效采集低电压下的弱信号。
GB (Gentle Beam) 模式:对样品施加偏压,实现低加速电压、高分辨率成像,有效减轻样品荷电与损伤。
支持二次电子 (SE) 与背散射电子 (BSE) 信号同时分离采集。
二、关键技术参数
电子枪:肖特基热场发射(浸没式)
加速电压:0.1 V – 30 kV(连续可调)
空间分辨率
高电压(15 kV):0.8 nm
低电压(1 kV):1.3 nm
束流:300 nA
样品台:5 轴全自动 / 半自动(X/Y/Z/ 倾转 / 旋转)
标准探测器
高位二次电子探测器 (USD)
镜内二次电子 / 背散射电子探测器 (TTLS-SE/BSE)
选配功能:EDS 能谱分析、EBSD 电子背散射衍射、STEM 透射模式、气体样品环境室
三、主要应用领域
材料科学:纳米材料、二维材料、金属合金、陶瓷、高分子的形貌与结构分析。
半导体 / 微电子:芯片、光刻胶、MEMS、封装的缺陷检测与失效分析。
生命科学:生物组织、细胞、病毒、生物大分子的高分辨形貌观察。
地质与环境:矿物、气溶胶、微塑料的微区表征。
汽车 / 航空:复合材料、催化剂、涂层的质量控制与研发。

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